1.潔凈度

潔凈度是潔凈室的基本的技術(shù)指標，其單位是單位體積的空氣中粒徑不小于某一尺寸的微粒個數(shù)。

2.微生物濃度

微生物濃度時潔凈室的另一項重要技術(shù)指標，其單位是單位體積的空氣中微生物的個數(shù)。

3.溫度

溫度時基本的工作條件，幾乎所有的潔凈室對于溫度都有明確的要求，溫度會影響物體的尺寸，從而影響加工的精確度，所以精密加工對于溫度有相當(dāng)嚴格的要求，溫度會影響儀器的參數(shù)，從而產(chǎn)生誤差，所以精密測量儀器對于溫度的要求也較高。

4.濕度

濕度也是基本的工作條件，幾乎所有的潔凈室對于濕度都有明確的要求，濕度較大會使許多物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量，甚至使設(shè)備失效，產(chǎn)品報廢。

5.風(fēng)速與風(fēng)量

足夠的風(fēng)速和風(fēng)量是潔凈度的保證，過大的風(fēng)速與風(fēng)量不僅浪費能量，而且有時會影響正常的工作。

6.氣壓與壓差

正常的氣壓式正常工作的基本條件。必要的壓差是控制漏氣方向的手段。微電子行業(yè)的潔凈室為了保證潔凈度，不允許低潔凈度的空氣向高潔凈度區(qū)域泄露。

7.噪聲

過大的噪聲不僅會影響正常的工作，而且會影響人員的身體健康，降低噪聲是潔凈室的一項基本要求。

8. 照度

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